ionizacija, proces pretvaranja neutralnih atoma ili molekula u ione. Nastaje prolaskom nabijenih čestica kroz tvar. Rendgenske, ultraljubičaste zrake i elementarne čestice visokih energija često od neutralnog atoma otkidaju elektron iz njegove staze i tako nastaju pozitivni ioni. Energija potrebna da se pojedinačnom atomu oduzme elektron zove se energija ionizacije. Elektron nakon otkidanja od atoma može neko vrijeme ostati slobodan, a može se spojiti s neutralnim atomom ili već postojećim pozitivnim ionom (rekombinacija). Vjerojatnost da neutralni atom uhvati elektron i tako postane negativni ion manja je od otkidanja elektrona od atoma. Ioni stvoreni u nekom plinu brzo se rekombiniraju i plin prelazi u neutralno stanje. Ako je plin u el. polju, onda se nastali ioni gibaju prema elektrodama. To je struja ionizacije.